Специалисты «ГЕМЮ ГмбХ» (российское представительство GEMÜ) рассказали о новой разработке – регулирующем клапане C53 iComLine с электрическим управлением.
2/2-ходовой мембранный седельный клапан GEMÜ C53 iComLine создан для высокоточного и сложного применения в производстве полупроводниковых приборов. Принцип уплотнения клапана базируется на технологии GEMÜ PD, предусматривающей разделение привода и рабочей среды коническим шаровым регулирующим плунжером из прочного PTFE.
За счет возможности настройки контура шарового регулирующего плунжера, хода привода и размеров соединения согласно спецификации заказчика новая разработка предприятия соответствует практически всем требованиям по регулированию и контролю расхода в высокотехнологичной полупроводниковой промышленности.
В сообщении «ГЕМЮ ГмбХ» было отмечено, что клапан обладает комбинацией высокоточного шагового двигателя и высокочистых материалов корпуса. Это делает его оптимально подходящим для процессов литографии, CMP и травления, а также для использования в аналитической области на любом производстве полупроводников.
При этом изделие может устанавливаться в многоходовой клапанный блок GEMÜ PC50 iComLine для реализации сложных поточных схем в условиях ограниченного пространства. При обработке кремниевых пластин многоходовой клапанный блок можно применять, например, в устройстве FOUP-Cleaner для терморегулирования деионизованной воды. Для этого в многоходовой клапанный блок GEMÜ PC50 iComLine могут встраиваться обратные клапаны и датчики.
Справка:
Группа GEMÜ является ведущим мировым производителем клапанов, систем измерения и регулирования для жидкостей, газов и паров. В сфере разработки решений для стерильных процессов GEMÜ занимает лидирующую позицию на мировом рынке.
Помимо одноименной компании GEMÜ и 27 дочерних компаний в Группу GEMÜ также входят фирма inevvo solutions, предлагающая услуги по разработке программных решений в области идентификации и управления, отель Schloß-Hotel (г. Ингельфинген) и винодельня Ingelfinger Fass.
Кроме того, в Группу GEMÜ входят компания по производству рекламно-сувенирной продукции VIP Präsent и компания GFM Solutions, которая специализируется на изготовлении аппаратов для бесконтактной дезинфекции рук.
По материалам ООО «ГЕМЮ ГмбХ»
